SIMULAÇÃO DE UM SENSOR DE PRESSÃO MICROELETROMECÂNICO

Resumo

A tecnologia MEMS (Sistemas Microeletromecânicos) consiste na fabricação de sensores, atuadores e transdutores na escala micrométrica. Nos sensores essa tecnologia possibilita medir grandezas físicas com um baixo tempo de resposta, alta sensibilidade e baixo custo de fabricação [RAMOS, 2009]. Um exemplo de aplicação é o acelerômetro utilizado em air-bags, que detecta a aceleração ou a frenagem abrupta do automóvel e envia um sinal elétrico para acionar os air-bags. O microssensor de pressão é aplicado amplamente em automóveis, aplicações biomédicas e eletrodomésticos. Sua aplicação varia de calibrar um pneu de carro até medir a pressão sanguínea de pacientes.