SENSOR DE PRESSÃO FABRICADO POR ABLAÇÃO A LASER
Palavras-chave:
micro sensores de pressão, ABLAÇÃO A LASERResumo
O processo de microfabricação utilizando tecnologia MEMS permite a produção de componentes em larga escala, com baixo tempo de resposta, elevada eficiência e reprodutibilidade com baixo custo. Em microssensores de pressão, a utilização de piezoresistores localizados em membranas de silício representa o padrão industrial [1].
Para a fabricação do sensor mencionado, é usualmente utilizada a corrosão de silício em soluções alcalinas de KOH (hidróxido de potássio), com taxas de corrosão geralmente de 1µm/min, função das condições de processo [2]. Todavia, em substituição do KOH, surge a alternativa da técnica de ablação por laser de alta potência. O uso desse equipamento possibilita uma redução substancial no tempo exigido pelo processo de corrosão [3], tendo o efeito de uma corrosão feita de maneira mais rápida e uniforme, dependendo das necessidades específicas do processo,
