FABRICAÇÃO DE MEMBRANAS DE SILÍCIO POR ABLAÇÃO A LASER PARA SENSORES DE PRESSÃO MEMS

Resumen

Um microssensor é um dispositivo de dimensões icrométricas, com uma escala inferior a 1 mm, fabricado utilizando a tecnologia MEMS (Sistemas Microeletromecânicos, do inglês Micro-Electro- Mechanical Systems). Esta tecnologia possibilita a mensuração de grandezas físicas com tempo de resposta reduzido, assegurando valores confiáveis, alta sensibilidade e uma redução de custos devido à produção em massa, empregando a mesma abordagem tecnológica da microeletrônica. Um exemplo ilustrativo de sua aplicação abrange os microssensores de pressão, largamente empregados para a calibração de pneus, o controle e monitoramento de processos industriais, assim como, na instauração de dispositivos de segurança e na aferição da pressão arterial.

Para a fabricação do sensor mencionado, é usualmente utilizada a corrosão de silício em solução de KOH (hidróxido de potássio). Todavia, em substituição do KOH, surge a alternativa da técnica de ablação por laser de alta potência. O uso desse equipamento possibilita uma redução substancial no tempo exigido pelo processo de corrosão, tendo o efeito de uma corrosão feita de maneira mais rápida e uniforme, dependendo das necessidades específicas do processo. O objetivo deste trabalho é caracterizar a corrosão do silício por laser, alcançando a profundidade de 200μm para a fabricação de um sensor de pressão.