Ozono EM, Abrusio G. DEPOSIÇÃO DE FILME FINO DE CARBETO DE SILÍCIO NUMA CÂMARA MPECVD POR PLASMA DE MICROONDAS . SICT [nternet]. 1º de setembro de 2025 [citado 6º de outubro de 2025];6(1):053-6. isponível em: https://publicacoescesu.cps.sp.gov.br/sict/article/view/492