Ozono, Edson Moriyoshi, e Gabriel Abrusio. “DEPOSIÇÃO E ILME INO E ARBETO E SILÍCIO UMA CÂMARA PECVD OR LASMA E ICROONDAS”. Simpósio de Iniciação Científica e Tecnológica 6, no. 1 (setembro 1, 2025): 053–056. cessado outubro 6, 2025. https://publicacoescesu.cps.sp.gov.br/sict/article/view/492.