Ozono, E. M., e G. Abrusio. “DEPOSIÇÃO E ILME INO E ARBETO E SILÍCIO UMA CÂMARA PECVD OR LASMA E ICROONDAS”. Simpósio e Iniciação Científica Tecnológica, vol. 6, nº 1, setembro de 2025, p. 053-6, https://publicacoescesu.cps.sp.gov.br/sict/article/view/492.