OZONO, . M.; ABRUSIO, . DEPOSIÇÃO DE FILME FINO DE CARBETO DE SILÍCIO NUMA CÂMARA MPECVD POR PLASMA DE MICROONDAS . Simpósio de Iniciação Científica e Tecnológica, [S. l.], v. 6, n. 1, p. 053–056, 2025. Disponível em: https://publicacoescesu.cps.sp.gov.br/sict/article/view/492. Acesso em: 6 out. 2025.