Santos, M.F. O., Abê, I.Y. e Fontes, M.B.A. 2023. FABRICAÇÃO DE MEMBRANAS DE SILÍCIO POR ABLAÇÃO A LASER PARA SENSORES DE PRESSÃO MEMS. Simpósio de Iniciação Científica e Tecnológica. 1, 1 (dez. 2023), 071–071.